PA6/PA66 在半導(dǎo)體無塵車間的應(yīng)用

PA6/PA66，在半導(dǎo)體無塵車間都有哪些應(yīng)用？能不能滿足無塵車間的高要求？畢竟半導(dǎo)體無塵車間，對(duì)材料的要求特別高，不能有污染，不能有靜電，不能有粉塵，今天我們就來把這個(gè)問題講清楚：

一、PA6/PA66，為什么適合半導(dǎo)體無塵車間的需求

1.低析出低污染的特性

經(jīng)過改性的 PA6/PA66，能做到非常低的 VOC 和低析出，不會(huì)有小分子的物質(zhì)從材料里跑出來，不會(huì)污染無塵車間的潔凈環(huán)境，也不會(huì)對(duì)晶圓、芯片造成污染，完全能滿足百級(jí)、十級(jí)無塵車間的污染控制要求。

2.高等級(jí)的防靜電能力

我們的改性 PA6/PA66，能做到穩(wěn)定的防靜電性能，表面電阻可以穩(wěn)定控制在 10^6~10^9Ω/sq，剛好是靜電消散的等級(jí)，不會(huì)產(chǎn)生靜電，不會(huì)吸附灰塵，也不會(huì)因?yàn)殪o電放電，打壞精密的芯片，完全滿足半導(dǎo)體行業(yè)的防靜電要求。

3.耐清洗耐消毒的性能

無塵車間的制品，需要經(jīng)常用消毒液、IPA 酒精來清洗消毒，改性的 PA6/PA66，能扛得住這些消毒液的腐蝕，不會(huì)發(fā)脹，不會(huì)老化，也不會(huì)有物質(zhì)析出，清洗很多次，性能都能保持穩(wěn)定，能長(zhǎng)期的在無塵車間里使用。

二、PA6/PA66，在半導(dǎo)體無塵車間的核心應(yīng)用場(chǎng)景

1.周轉(zhuǎn)承載類的應(yīng)用

這是無塵車間里用的最多的場(chǎng)景，比如 IC 周轉(zhuǎn)托盤、晶圓承載盒、料盒、芯片收納盒，這些制品，用改性尼龍來做，能做到防靜電，不會(huì)有靜電損傷芯片，同時(shí)，低析出，不會(huì)污染芯片，而且，耐摔，就算掉地上，也不會(huì)碎，不會(huì)產(chǎn)生粉塵，能很好的保護(hù)芯片和晶圓。

2.傳輸傳動(dòng)類的應(yīng)用

在無塵車間的傳輸線上，很多的配件，比如傳輸帶的滾輪、傳動(dòng)的齒輪、軸承、導(dǎo)輪，這些，用改性尼龍來做，有很好的自潤(rùn)滑性能，不用加潤(rùn)滑油，不會(huì)有油污的污染，同時(shí)，耐磨，用很久都不會(huì)磨損，不會(huì)產(chǎn)生粉塵，完全滿足無塵車間的要求。

3.結(jié)構(gòu)防護(hù)類的應(yīng)用

無塵車間的設(shè)備配件，比如設(shè)備的外殼、防護(hù)罩、門的配件、把手，這些，用改性尼龍來做，能做到防靜電，不會(huì)產(chǎn)生靜電，同時(shí)，低析出，不會(huì)污染環(huán)境，而且，重量輕，安裝方便，能很好的滿足設(shè)備的防護(hù)需求。

三、半導(dǎo)體無塵車間用的尼龍，該怎么選

1.普通百級(jí)無塵車間的選型

針對(duì)普通的百級(jí)無塵車間，比如普通的芯片組裝車間，我們可以選用普通的低析出防靜電 PA6 材料，這個(gè)材料的成本低，能滿足低污染、防靜電的要求，完全能覆蓋大部分的周轉(zhuǎn)、傳輸配件的需求。

2.高等級(jí)防靜電的選型

針對(duì)高等級(jí)的防靜電需求，比如要做靜電消散的晶圓承載盒，我們可以選用高等級(jí)的永久防靜電 PA66 材料，這個(gè)材料的防靜電性能很穩(wěn)定，不會(huì)隨環(huán)境的溫濕度變化，能長(zhǎng)期的保持穩(wěn)定的表面電阻，滿足高等級(jí)的防靜電要求。

3.耐高溫制程的選型

針對(duì)需要過高溫制程的制品，比如要過烘烤制程的承載盒，我們可以選用耐高溫的防靜電 PA66 材料，這個(gè)材料的耐溫能到 150℃，能扛得住高溫的制程，不會(huì)變形，同時(shí)，防靜電、低析出的性能，也能保持穩(wěn)定。